E312-A1 マイクロマシン・センサシステム 作製・評価技術
3月17日 午前 E312会場
3-115- 可動部への機械的拘束力低減のための駆動信号供給手法：PDP配線
- ◎伊藤正敏・前田拓斗・清水幸一・小西 聡（立命館大学）
3-116- 旋回流を用いた空気精紡のためのマイクロ斜め噴流ノズルの作製とその評価
- ◎多田洋平・森本賢一・小西 聡（立命館大学）・高嶋弘樹・南野勝巳・田原良祐（村田機械）
3-117- SU-8を用いたESI tipを有する樹脂製LCチップの作製と評価
- ◎朴 淵暢（奈良先端科学技術大学院大学）・堀池重吉・松岡諭史・中西博昭（島津製作所）
3-118- 低周波帯域に対応する振動子の作製方法
- ◎鈴木隆史・長澤純人・桑野博喜（東北大学）
3-119- 静電容量型小型傾斜角センサのパッケージング技術
- ○西本和史・三宅弘晃（兵庫県立大学）・西田諭史（ナノクリエート）・野田大二・服部 正（兵庫県立大学）
3-120- フラッシュ蒸着によるTiNiCu厚膜の機械的特性
- ◎葛西恒二・有坂達矢・峯田 貴・牧野英司（弘前大学）・柴田隆行・川島貴弘（豊橋技術科学大学）
3-121- 静電容量型MEMSデバイスを用いたカーボンナノ材料引張試験
- ◎浦 靖武・菅野公二・土屋智由・田畑 修（京都大学）
E312-A2 マイクロマシン・センサシステム バイオケミカル応用
3月17日 午前 E312会場
3-122- 微小孔への多孔質シリカ自立膜の形成
- ○松島隆明・安田 隆（九州工業大学）
3-123- フッ硝酸系溶液を用いた神経信号検出用脳内埋込電極に対する一検討
- ○斉藤洋之・関根好文（日本大学）
3-124- 血栓生成予防のためのマイクロバルーンアクチュエータの動的変形特性
- ◎安達浩祐・小松崎寛央・峯田 貴・牧野英司・渡辺健一（弘前大学）
3-125- 誘電泳動インピーダンス計測法による細菌誘電特性と細胞膜を介した物質輸送作用の相関検証
- 圓城寺隆治・○内田 諭・杤久保文嘉（首都大学東京）
3-126- 誘電泳動と細胞膜破壊を利用した細菌検出法の周波数最適化による高感度化
- 池田尚希・高山博行・今坂公宣・○末廣純也（九州大学）
3-127- 積層型センサによる3成分溶液濃度推定
- ○北島嵩之・木本 晃・信太克規（佐賀大学）
3-128- 水晶振動子を利用した水素ガスセンサの研究開発
- ◎曹 揚・柿本義典・山崎大輔・紀 静・植田敏嗣（早稲田大学）
3-129- 水晶振動子を用いた高感度匂いセンサの研究
- ○潘 文超・WeiWei Pan（早稲田大学）・水谷直貴（北九州市立大学）・山崎大輔（早稲田大学）・李 丞祐（北九州市立大学）・植田敏嗣（早稲田大学）
E312-B1 マイクロマシン・センサシステム 光MEMS
3月18日 午前 E312会場
3-130- 半導体レーザビームの形状整形用マイクロコリメータレンズの製作
- ◎今里裕司・岡田和志・大須賀健士・大平文和・三原 豊・小川一文・鈴木孝明（香川大学）
3-131- 赤外干渉計用マイクロレンズの光学特性評価
- ○阿部 泰・渡部善幸・岩松新之輔・小林誠也・高橋義行・村上 穣・佐藤敏幸（山形県工業技術センター）
3-132- 感光性ポリイミドを用いた低コストPolymer-MEMSミラー
- ◎仮谷宗一郎・中野哲郎・本山清徳・鈴木孝明・大平文和（香川大学）・橋口 原（静岡大学）
3-133- 積層法による導光板の高輝度化
- ◎藤本貴弥・岡山祐太（兵庫県立大学）・山下健治・西田諭史（ナノクリエート）・佐和吉敬（佐和鍍金工業）・野田大二・服部 正（兵庫県立大学）
3-134- SiフォトニックMEMS gratingの作製方法についての検討
- ◎石塚 彰・肥後昭男・中野義昭（東京大学）
3-135- 1X2シリコンフォトニックMEMSスイッチの作製方法の検討
- ◎肥後昭男・石塚 彰・中野義昭（東京大学）
3-136- Effect of increased combs on the characteristics of compact micro mirror
- 羽根一博・◎Hoang Chu・佐々木 敬（東北大学）
E312-C3 マイクロマシン・センサシステム 電磁センサ・音波センサ・回路集積
3月19日 午後 E312会場
3-137- コンクリート内PVC管検出のためのインピーダンス測定手法の提案
- ○荒木健士朗・木本 晃（佐賀大学）・山崎慶太（竹中工務店）・木原清晴・村松和弘・信太克規（佐賀大学）
3-138- マルチバリアブル渦電流センサ
- ○工藤高裕・浅野貴正・松添雄二（富士電機アドバンストテクノロジー）
3-139- 配電線非破壊磁気探傷法における傷判定精度向上に関する数値的検討
- ◎渡邊晃朗・佐藤文博・佐藤忠邦・松木英敏（東北大学）・野中 崇（八戸工業高等専門学校）
3-140- 荷重積分法による瞬時波源定位と残響の時空間分解検出シミュレーション
- ◎小山翔一・栗原 徹・安藤 繁（東京大学）
3-141- 生物模倣型音源定位MEMSセンサの設計
- ◎栗原 徹・渡辺健太郎・安藤 繁（東京大学）・山西良樹・大麻隆彦（東京エレクトロンAT）
3-142- 超音波センサによる多重距離計測装置
- ○松崎浩通・青柳 稔（日本工業大学）
3-143- SOI-MEMSアクチュエータ集積化システムに向けた高耐圧CMOS技術の開発
- ○中田 透・高尾英邦・澤田和明・石田 誠（豊橋技術科学大学）
3-144- 無線駆動型Si-MEMSマイクロセンサに向けたCMOS RF-DC安定化電源回路の最適化設計
- ○遠藤大樹（豊橋技術科学大学）・高尾英邦・澤田和明・石田 誠（豊橋技術科学大学,JST-CREST）
3-145- 電子回路との相似性を用いた流体集積回路のSPICEシミュレーション
- ◎杉浦正典・高尾英邦・澤田和明・石田 誠（豊橋技術科学大学）
E312-C4 マイクロマシン・センサシステム アクチュエータ
3月19日 午後 E312会場
3-146- 1つの積層型圧電素子を用いた制動機能を持つ駆動モータの提案
- ◎瀬山智之・武藤 寛・笹倉伸之・大木克倫（早稲田大学）
3-147- 1 つの積層型圧電素子による配管内自走移動マシンの開発
- ◎大木克倫・瀬山智之・武藤 寛・佐野友哉（早稲田大学）
3-148- 誘導反発式磁気浮上を用いたマイクロ浮上装置に関する検討
- ◎多田亮平・鳥居 粛（武蔵工業大学）
3-149- 泳動形小型アクチュエータの構造と動作特性に関する研究
- ◎草野 大・飯室隆之・下川祐樹・畑下仁志・金丸保典（金沢工業大学）
3-150- 斜めDeep-RIEを用いた静電アクチュエータの作製
- ◎中田宗樹・高橋一浩・高橋巧也・肥後昭男・藤田博之・年吉 洋（東京大学）
3-151- 音叉型デバイスを用いた共振疲労特性に関する研究
- ◎若狭哲也・馬渡勇生・安藤妙子・佐藤一雄（名古屋大学）・加藤貴久・島田康弘（キヤノン）
3-152- 静電式マイクロバルブの検討
- ◎豊沢雄一・室 英夫（千葉工業大学）・星野貴之・小島智明・楠山幸一（アルバック成膜）
3-153- 可動針を有する静電インクジェットノズルの提案
- ◎谷口 純・馬場昭好（九州工業大学）
3-154- 多段静電クラッチを用いた触覚ディスプレイの開発
- ○周 博偉・式田光宏・佐藤一雄（名古屋大学）
E312-A3 ケミカルセンサ 匂いセンサ・バイオ・生体応用
3月17日 午後 E312会場
3-155- 有機・無機コンポジットナノフィルムによる匂いセンサー
- ◎酒井亮介・布川正史・木村 睦（信州大学）・三原孝士（オリンパス）
3-156- 匂いセンシングシステムのための嗅球側抑制モデルの回路実装
- ◎野呂敏孝・山中高夫（上智大学）
3-157- 匂いセンシングシステムにおける背景臭抑制のための嗅覚順応モデルの回路実装
- ◎大羽恒彰・山中高夫（上智大学）
3-158- Study of Odor Recorder based on real-time Mass Spectrometry with variable Ionization Energy
- ○ソンブーンパープン・中本高道（東京工業大学）
3-159- 弾性表面波素子を用いた匂い提示装置の開発
- ○文字太郎・齋藤敦史・野村 徹（芝浦工業大学）
3-160- マイクロ溶液プラグのクーロメトリック分析
- ◎佐々文洋（筑波大学）・Hind Laghzali（Joseph Fourier University）・福田淳二・鈴木博章（筑波大学）
3-161- グラッシーカーボンコンポジットパイロポリマー電極による18F－イオンの捕捉・回収に関する研究
- ◎守法 篤・岡本貫志（立命館大学）・岩田 錬（東北大学）・斉木秀和・中西博昭（島津製作所）・小西 聡（立命館大学）
3-162- リポソーム固定化カンチレバー型歪み抵抗センサの検討
- 吉村友里・◎浅井 健・山下 馨・野田 実（京都工芸繊維大学）・寒川雅之・島内寿徳・馬越 大・奥山雅則・久保井亮一（大阪大学）
3-163- 電解質封入リポソーム－タンパク質間相互作用検出漏れ電流マイクロセンサ
- 有延 康・浅井 健・山下 馨・○野田 実（京都工芸繊維大学）・島内寿徳・馬越 大・奥山雅則・久保井亮一（大阪大学）
3-164- PCRを目的とした温度制御型磁気微粒子ハンドリングシステムの開発
- ◎今井連太郎・式田光宏・大河内美奈・本多裕之・佐藤一雄（名古屋大学）
3-165- 疎水/親水パターン化基板を利用したWater-in-Oil型マイクロチャンバーアレイ
- ○飯野亮太・榊原昇一・新木 卓・吉海江国仁・野地博行（大阪大学）
3-166- Dual QCMセンサを用いたバイオセンシング
- ◎樋口 誠・橋本昌彦・梶 弘和・西澤松彦・安部 隆（東北大学）
3-167- 複数点同時計測による生体電位応答評価
- ◎内海沙世子・長谷川有貴・内田秀和・谷治 環・勝部昭明（埼玉大学）
3-168- コーヒーに対する無機膜センサの応答特性
- ◎立野靖大・長谷川有貴・内田秀和・谷治 環・勝部昭明（埼玉大学）・小島洋一郎（苫小牧工業高等専門学校）
E312-A4 ケミカルセンサ 水素・ガスセンサ
3月17日 午後 E312会場
3-169- カーボンナノチューブを用いたガスセンサの特性評価―金属電極の材質と形状の影響―
- ◎浅岡典央・福田祐司・菅原広剛・村山明宏・末岡和久（北海道大学）・須田善行（豊橋技術科学大学）
3-170- ヒーター変調時のガスセンサの過渡応答モデル
- ○藤本 晶・苫谷将来・栗塚翔太（和歌山工業高等専門学校）
3-171- Pt/Ti二層ゲートFET型水素センサの空気雰囲気での水素応答特性
- ◎假谷正敏・山口富治・紀和利彦・山田博信・塚田啓二（岡山大学）・國次真輔（岡山県工業技術センター）
3-172- ガス透過膜の水素センサへの適用
- ◎藤井浩二・山口富治・紀和利彦・山田博信・塚田啓二（岡山大学）
3-173- プロトンポンピングゲートFETをベースとした集積化水素ガスセンサの開発
- ◎山口富治・坪田公輔・山田博信・紀和利彦・塚田啓二（岡山大学）・近藤洋平・今城啓文・本藤 勉（シャープタカヤ電子工業）・前原経利・山本忠義（フェニテックセミコンダクター）
3-174- Langasite ball-SAW odor sensors
- ◎ヴぃしんすきーばるとしゅ・中本高道（東京工業大学）・中曽教尊・野口和弘（凸版印刷）
3-175- マイクロカンチレバー、QCM検出器と吸着管を用いた小型化学センサシステム
- ◎三原孝士（オリンパス）・池原 毅・昆野舜夫・前田龍太郎（産業技術総合研究所）・木村 睦・布川正史・劉 野・酒井亮介・平井利博（信州大学）
3-176- Carbon/Silver-QCMによる活性酸素種の計測
- ◎松本裕之・松岡幹彦（岩崎電気）・野田和俊（産業技術総合研究所）
E312-B2 フィジカルセンサ 振動子応用・熱型センサ
3月18日 午前 E312会場
3-177- 穴あきディスク型振動子を用いたMEMS発信器
- ○昆野舜夫・池原 毅・前田龍太郎（産業技術総合研究所）・三原孝士（オリンパス）
3-178- 表面マイクロマシーニングによる共振子の共振周波数の静電チューニングの検討
- ○水口和彦・室 英夫（千葉工業大学）
3-179- 共振型磁気センサの提案と基本動作の確認
- ◎千葉久統・木村光照（東北学院大学）
3-180- 短時間厳密周波数推定法：共鳴型センサの高精度高時間分解能化に向けた考察
- ○安藤 繁・栗原 徹（東京大学）
3-181- ダイオードサーミスタを用いた真空パッドの提案
- ◎澤口 航・木村光照（東北学院大学）
3-182- 薄膜ピラニ真空センサの1気圧付近の高感度化
- ◎高嶋徳明・木村光照（東北学院大学）
3-183- 電流検出型熱電対を用いたマイクロ熱分析装置の検討
- ◎木村大介・木村光照（東北学院大学）
E312-C1 フィジカルセンサ 光センサ・角度センサ
3月19日 午前 E312会場
3-184- 有機光電変換膜を用いた撮像デバイスの評価
- ◎小菅英明・森 涼太郎・福田武司・鎌田憲彦・高橋幸郎（埼玉大学）
3-185- ファイバグレーティングによる三方向ひずみ測定
- ◎梅田晶央・熊崎裕教・稲葉成基・小栗久和（岐阜工業高等専門学校）・羽根一博（東北大学）
3-186- 単磁区磁性薄膜のKerr効果を用いた光プローブ力学量センサの基礎検討
- ◎後藤貴登・菊地佑輔・大谷直樹・曽根原 誠・佐藤敏郎・山沢清人・三浦義正（信州大学）・浅沼和志（長野工科短期大学校）
3-187- 光ファイバ電流センサの温度特性改善に関する検討
- ○近藤礼志・黒澤 潔（東京電力）
3-188- 光ファイバ伝送路の外乱に対する出力安定性を向上した光ファイバ電流センサの開発
- 近藤礼志・黒澤 潔（東京電力）・板倉英治・小竹 孝・◎椎野有貴（高岳製作所）
3-189- 縦型ホール素子を用いた高精度リニア角度センサ
- ○鈴井啓介・大平 聡・磯部良彦・岩本麗司（デンソー）・前中一介（兵庫県立大学）
E312-C2 フィジカルセンサ 触覚・加速度センサ
3月19日 午前 E312会場
3-190- 滑り覚を有する超触覚イメージセンサの実現に向けた指紋構造の検討
- ◎岡田浩希・高尾英邦・澤田和明・石田 誠（豊橋技術科学大学）
3-191- 機織物状触覚センサの大面積化とその特性評価
- ◎辻 佑未子・鈴木佳孝・北 岳斗・式田光宏・佐藤一雄（名古屋大学）
3-192- 垂直及び剪断力検出可能な織物状触覚センサの開発
- ◎鈴木佳孝・北 岳斗・式田光宏・佐藤一雄（名古屋大学）
3-193- 酸化クロム薄膜ひずみゲージを用いた柔軟な触覚センサの開発
- ○松永 崇・日下忠興・小栗泰造・筧 芳治・岡本昭夫・佐藤和郎・吉竹正明（大阪府立産業技術総合研究所）
3-194- Siピエゾ抵抗を用いた傾斜カンチレバー触覚アレイセンサ
- ◎美馬達也・大西浩之・寒川雅之・金島 岳・奥山雅則（大阪大学）・山下 馨・野田 実（京都工芸繊維大学）・野間春生・樋口誠良（オムロン）
3-195- 静電容量及び接触電圧測定による硬さを含めた材質識別
- ○杉谷直樹・木本 晃・信太克規（佐賀大学）
3-196- 変位変換機構を有するZ軸加速度センサ
- ○平田善明・紺野伸顕・徳永隆志・番 政広・福本 宏（三菱電機）