低濃度のVOC除去の方法として放電処理が注目されているが，この方法における除去効率の改善は非常に重要な課題である。我々は，ナノ秒極性反転パルス発生装置を用いたVOC分解の可能性について検討している。この装置は，極性反転時の電界強調効果により比較的低い印加電圧でも放電を引き起こすことができる。この利点により，トルエンを効率よく除去できると考えられる。本報では，ナノ秒極性反転パルス放電と無声放電の比較をおこなう。