CF4をはじめとするパーフルオロカーボン類（PFCs）は，半導体産業において広く利用されている。PFCsは温室効果ガスであるため，除害装置の設置などの排出削減技術が実践されている。除害装置の設置は，プロセスへの影響が少なく，短時間で新規ライン導入が可能であるなどの利点がある。除害装置には種類があるが，装置の小型化が容易なプラズマ分解は除害装置の普及に利するものと期待される。プラズマ分解には数多くの種類があり，それぞれの手法に対して研究が為されている。 本報告では， 3種のリアクタ構成によるガス組成の変化を発光分光，ガスクロマトグラフ，FTIR等で測定し，CF4分解の効率化を検討した。