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真空中平行平板電極系におけるインパルスコンディショニングのギャップ長依存性
西村亮岐・◎小島寛樹・早川直樹・大久保 仁(名古屋大学)
真空中の耐電圧を向上させるインパルスコンディショニングの現象解明が重要である.本論文では,ギャップ長変化がコンディショニングの最終状態に与える影響について実験的検証を行った.その結果,コンディショニング後の陰極表面の表面粗さRaはギャップ長を短くすることで小さくなることがわかった.これは,ギャップ長を短くすることで,低い電圧でコンディショニングを行い,電極表面の損傷の影響を小さくできたためであると考えられる.このことからRaが小さいと絶縁破壊のトリガとなる陰極からの電界電子放出が抑制され,ギャップ長を短くしてコンディショニングを行うことで,絶縁性能に優れた陰極表面が得られることが明らかになった.