オゾンは強い酸化力を有し、さまざまな分野で実用化されている。オゾン生成法の中で、空気を原料とした放電プラズマ法が最も安価であるが副生成物として窒素酸化物を生成する。従って、本研究では空気を原料として放電プラズマ法によりオゾンを生成し、発生するNOx濃度を抑制することを目的とした。実験方法は、交流高電圧をオゾナイザに印加した。オゾナイザには誘電体球を充填したパックドベット式のリアクタを用いた。充填した球は三種類の比誘電率の異なるものを用意した。放電電力を変化させオゾンと副生成物の濃度特性を測定した。実験結果は、オゾン生成効率が一定の放電電力以上で飽和することや、比誘電率による副生成物の変化を評価した。