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薄膜型サーマルコンバータの耐環境性の評価
◎天谷康孝・藤木弘之(産業技術総合研究所)・岸野 要・日高 滋(ニッコーム)
薄膜型サーマルコンバータを作製し,IEC (International Electrotechnical Commission) 規格に基づく耐環境性の評価を行った.温度を15 ℃から30 ℃,湿度を35 %RHから85 %RHとした環境下で薄膜型サーマルコンバータの連続動作運転を行った.その結果,薄膜型サーマルコンバータの温度特性および湿度特性は,AC-DC差比較測定システムの検出感度で以下である事が明らかになった.10 Hzおよび1 kHzで評価を行ったが,耐環境性に関する周波数依存性は見られなかった.また,薄膜型サーマルコンバータに過渡的な温度変化および湿度変化を与え,安定度の評価を行った.その結果,変化率は検出感度以下である事が明らかになった.