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交流電流用薄膜型サーマルコンバータの開発
○藤木弘之・天谷康孝・佐々木 仁(産業技術総合研究所)・清水目浩司・岸野 要・日高 滋(ニッコーム株式会社)
交流電流標準は、直流電流標準と比較測定することにより導かれている。直流電流と交流電流の実効値を比較測定する仲介器として、サーマルコンバータが用いられている。
一般的なサーマルコンバータの定格電流は10 mAであり、10 mAを超える交流電流の拡張は、サーマルコンバータとシャント抵抗の組み合わせで行われている。
今回、交流電流標準の高精度化や高信頼性を目的として、薄膜型サーマルコンバータの開発を行った。
新しい薄膜型のサーマルコンバータは100 mAまで、電流依存も小さく、シャント抵抗なしで、電流範囲の拡張が可能である。