外径100μmの銅管およびステンレス鋼管(SUS304材)にポジ型レジストPMER P-LA900PMを塗布し、波長473nmの固体青色レーザを用いたレーザ走査リソグラフィにより螺線パターンを形成した。螺線パターンは、線幅30μmの目標に対し、平均線幅29.6μm、ばらつき3σ=1.5μmでほぼ均一に形成できた。そののち、食塩+塩化アンモニウムの水溶液を電解液として電解エッチングを行い、マイクロコイルを製作した。銅管、ステンレス管のいずれについても良好にコイル化できる条件を見出すことができ、レーザ走査リソグラフィと電解エッチングの組み合わせによるマイクロコイル製作に見通しを得た。