プラズマ技術の産業応用は，材料デバイスプロセス応用，機械工学応用，医療応用といった幅広い分野の基盤技術として，益々その重要性を増している．その利点は、狭域へのプラズマを照射する能力であり、大気圧空気マイクロプラズマジェットの生成には真空装置を必要とせず、空気ガスを使用し、低コストを実現できるため，各種の応用に向けた基礎開発研究が精力的に進められている．本研究では，容量性マイクロプラズマジェットにおいて，DCおよびパルスパワー方式によるマイクロプラズマジェットを生成し，その分光測定データを提示する．