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磁気スイッチによるオゾナイザの放電安定性の向上
◎田中文章・岩石琢身・佐久川貴志・秋山秀典(熊本大学)
オゾンは、強い酸化力から上下水道処理や殺菌・消毒、脱色・漂白、近年では半導体のレジストの除去やウエハーの洗浄など様々な分野で利用されている。これらで利用されるオゾナイザは据え置きのプラント型で非常に大きな設備である。
一方で近年、排気ガスの処理へのオゾンを利用が広がりつつある。オゾンは安全に貯蔵する事が難しい為、一般的に利用する場合は排気ガスの発生する場所で発生させる必要がある。排気ガスを発生するものは自動車や船舶などで振動や発熱など厳しい利用環境である事が多い。このような環境ではオゾナイザのオゾン生成量を維持したまま、放電安定性を向上させる事が必要となる。
そのため、本研究では、負荷に並列に磁気スイッチを接続する事により、放電安定性の向上を目指している。