フッ素に次ぐ強力な酸化作用をもち，しかも環境負荷の小さなオゾンは，殺菌，漂白，脱臭等幅広い分野で使用されている。放電を用いた多くのオゾン発生装置は，誘電体バリア放電を用いているが，オゾン収率，濃度等の向上は重要な課題となっている。本研究では，バリア放電型リアクタにパルス放電を発生させ，オゾンの生成を行った。パルス幅と酸素流量を変化させ，パルス放電によるオゾナイザの高収率化の条件を検討する。