一般的に，低周波交流高電圧を用いて生成する大気圧プラズマでは，プラズマの安定生成およびアーク放電の抑制の為に，表面にセラミックスなどの絶縁体あるいは絶縁性コーティングを施した電極を用いる．この時，絶縁体の電気的特性および絶縁体と電極との接合状態が大気圧プラズマの生成に大きく影響を与える．本研究では，誘電体の電気的特性および電極との接合状態を向上させる目的で，水－誘電体多層電極を提案し，大気圧プラズマの生成特性と立体形状に対する適応性について，評価を行った．