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ネオントランスとSIDACを用いた60Hz Arプラズマジェット生成
◎住石裕次郎・野阪幸平・上杉喜彦・田中康規・石島達夫(金沢大学)
プラズマジェットは大気圧非平衡プラズマの一種である。大きな特徴として,プラズマジェットは電子温度が数万Kと高温なのに対し,ガス温度は常温程度であるためターゲットに対して熱負荷をかけずに,化学的に活性なラジカルによるプラズマプロセスを行うことが可能である。近年,大気圧非平衡プラズマの医療・生物分野や燃料改質,プラズマCVD,ナノチューブ合成など様々な領域への応用が急速に進んでいる。効率良くプラズマを生成するための要素として,電源の高周波化,急峻な電圧変化,プラズマ領域の縮小化などが挙げられる。今回,筆者らはネオントランスを用いて,60Hzの低周波Arプラズマジェットが生成可能であるか検討したので報告する。