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大気圧並列MCS 放電プラズマ源用のバラスト抵抗作成方法の検討
◎浅野太一・今 陽・竹中允一・前山光明(埼玉大学)
本研究では放電装置の電極部に着目し,装置の小型化と大容積化を目的としてMHCD電極の外部抵抗として導電性材料を用いた装置を作成した。MHCD電極の外部抵抗として厚さ2 mm,抵抗率2×103 Ω・m,材質が天然ゴムの導電性材料を用いた。
従来は導電性材料を第三電極のZ方向に対してφ方向に螺旋状に配置していたが,配線用の銅パターンを変更することにより,第三電極に対してφ方向への垂直配置を可能にした。これにより導電性材料の設置が容易になり,導電性材料と配線用銅パターンとの接触により均一性を持たせることができる。
実験条件は,大気圧,MHCDのパルス幅3 μs,周波数1 kHz ,Isingle= 12.5 mAとした。新パターンにおいても従来と同様の放電波形を得られ,MHCDの発光を確認できた。