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高速パルス印加第三電極を用いた円筒型MCS放電における極性効果の検討
◎竹中允一・久保田 淳・齋藤恒輔・前山光明（埼玉大学）
円筒型並列MCS放電では円筒中心軸上の第三電極に直流電圧V3を印加することによって得られてきた。第三電極に高繰り返しパルス電源を用いることによって従来の直流電圧に比べより高い電圧を印加することができないかを検討されてきたが、MCS放電維持電圧が予想より狭くなった。そのため本研究では第三電極に印加する高繰り返しパルス電源の極性変更することによってMCS放電への影響を検討した。