圧電トランス（PT：Piezoelectric Transformer）を用いて，高電圧電源と誘電体電極を兼ね備えたコンパクトな誘電体バリア放電型プラズマリアクタを開発し, エキシマランプとして動作させる実験的検討を行ってきた。その中で真空紫外領域の発光スペクトル観測や, フィラメント状放電の自己組織化現象の観測と，その生成条件について報告してきたが, 本報告では放電状態の観測と，発光効率を求めるために紫外線積算光量計を用いて, He/Xe混合ガス中でバリア放電を発生させ放射照度を測定した。放射照度はガス圧力に対して比例する結果が得られ,放射照度は放電ギャップ長d = 0.6 ~ 0.8 mmにおいて最大値を示した。