現在，大気圧非平衡プラズマは，産業や医療などへの利用が検討されているが，非平衡状態のため，プラズマ中の現象や基礎特性が明確になっていない現状である。そのため，プラズマ中の現象及び基礎特性を低コストで容易に計測できる手法及び技術の確立が求められている。本報告では，高周波DCパルス電源を用いた大気圧非平衡DCプラズマジェット中のラジカルの生成状態を簡易な分光的手法で，分光器から高速ビデオカメラを介してO原子ラジカルの生成状態を明確にすることができた。これにより，ラジカル生成状態の明確化の糸口が見つかること及び材料表面処理プロセスへの応用と，プラズマ中のラジカル生成状態を容易に計測できる1つの要因が見つけだすことが可能となる。