非平衡大気圧プラズマはガス温度が低く、電子温度のみ高いプラズマである。その中でも低周波プラズマジェットは大気圧中でプラズマ処理が行える利便性と、ラジカルが多量に発生していることから、ドライエッチング技術や滅菌・殺菌技術といった様々な応用がなされている。そこで我々は医療分野への応用を目指し、Heガス低周波プラズマジェットによる微生物の滅菌・殺菌を試みた。低周波プラズマジェットを微生物に照射すると、酸素ラジカル解離によって強力な殺菌効果が得られると考えられる。本稿では酵母菌・乳酸菌の滅菌や殺菌の効果について実験検討を行った。