放電電圧が低く、大面積化が容易、真空装置が不要と言う特徴を有するマイクロプラズマを用い、表面付着菌の殺菌効果を検証した。孔のあるステンレス板表面に誘電体をコーティングした誘電体バリア放電電極を使用し、二枚重ね合わせ平行平板電極とした。放電ギャップ長は100 マイクロメートルである。電極の孔にプロセスガスを流しながら電圧を印加する事により、ガス由来の活性種が発生する。その活性種を処理対象物に照射する事により、表面付着菌を模擬した微生物を殺菌するという実験を行った。また、電子顕微鏡観察像により、処理前後の微生物の形態の変化を確認した。