自動車部品や金型の表面硬化のため，産業界では低圧プラズマを用いた窒化処理が行われている．我々は，大気圧プラズマを用いた窒化処理が可能になれば，より迅速な処理，製造ラインへの処理の導入，設備投資の削減などが可能になると考えている．そこでパルスアーク型大気圧プラズマジェットを用いた窒化処理の研究を開始し，処理雰囲気中へ水素ガスを添加すれば鉄鋼の窒化処理が原理的に可能であることを突き止めた．今回，水素ガスを新たに動作ガス中に添加する手法を試み，その結果「処理に必要な水素ガス量の低減」および「より均一な窒化処理」が達成されたので，その報告を行う．また，ジェット中の素過程の調査についても議論を行う．