本研究では、プラズマ診断により酸素表面波プラズマ中の酸素ラジカル密度及びプラズマパラメータを測定した。また酸素表面波プラズマによるポリイミドの表面改質を行い付与された親水性の度合いを水接触角測定によって評価した。プラズマ診断の結果、誘電体からの距離が離れるにしたがって急激に電子温度・電子密度が低くなることがわかった。また電子エネルギー分布より、酸素ラジカルが生成される領域が誘電体近傍であることがわかった。ラジカル生成領域は誘電体近傍であるが、酸素ラジカル密度測定では誘電体近傍より離れた領域でも高いラジカル密度を示し、親水化もラジカル生成領域から離れた領域で良好になされた。