近年1GHzまでの周波数では、インピーダンスマテリアルアナライザ等の機器を用いて、材料の誘電特性評価が行われている。しかし低周波数（1MHzから100MHz）では測定精度が低下したり、誘電正接が小さい（10^(-3)台以下）試料の測定が困難であるという問題もある。 本研究では（1）信号電圧調整及びアベレージ機能の使用、（2）スパッタリングによる電極形成、（3）高誘電率試料によるロード補正、といった手法の検討を行い、どの程度測定精度に改善が見られるかを実験的に検証した。 その結果手法を組み合わせることで、誘電率・誘電正接共に1MHzから100MHzでの測定精度が向上し、誘電正接が10^(-3)台の試料も相対誤差5％以内での測定が期待できるようになった。