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PEA法の試料/下部電極界面における接着物質が試料の音響インピーダンス計測に与える影響
◎布野竜二・村上義信・栗本宗明(豊橋技術科学大学)・福間眞澄(松江工業高等専門学校)・長尾雅行(豊橋技術科学大学)
空間電荷分布測定技術の一つであるパルス静電応力(PEA)法は電気電子機器の絶縁材料等の性能・信頼性評価に広く利用されている。通常、PEA法では試料と電極間で密着性を高めるために界面接着剤としてシリコーンオイルが使用されているが、それが音響的に最適かどうかは調査されていない。本研究ではシリコーンオイル等の界面接着材がPEA法における音響特性に与える影響を調査するため、音響インピーダンス測定機能を組み込んだ空間電荷測定装置を用いて、数種類の界面接着剤を用いた場合について試料の音響インピーダンスを測定したので報告する。