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エポキシ/アルミナナノコンポジットにおける比誘電率の低減限界に関する考察
◎中野龍之・早川直樹・花井正広(名古屋大学)・加藤克巳(新居浜工業高等専門学校)・佐藤正幸・保科好一・武井雅文(東芝)・大久保 仁(名古屋大学)
筆者らは,超音波と遠心力を用いたナノ粒子分散技術によって作製したエポキシ/アルミナナノコンポジット(NC)が,母材よりも低誘電率化することを定量的に明らかにした.今回,そのメカニズムを解明するために,電流解析によってナノ粒子界面の特性が誘電特性に与える影響を算出するとともに,ナノ粒子充填による比誘電率の低減効果とその限界について検討を行った.その結果,エポキシ/アルミナNCの場合,13%低誘電率化の可能性が示唆された.