集束イオンビーム装置（Focused Ion Beam：FIB）はナノスケールまでGa^＋イオンビームを絞り、ビームを照射させて試料を観察しながらエッチングやイオン注入、原料ガスを吸着させて堆積物を生成させるデポジションができる。よって微細で立体的なダイポールアンテナの製作が可能となる。生体の分子振動が約2μm〜14μm程度なのでテラヘルツ波の発生源とする自由電子レーザ(Free Electron Laser : FEL)や、CO₂レーザを検出できるアンテナの形成を試みる。本研究ではFIB-CVDを用いたダイポールアンテナの形成について報告する。