2-099
集束イオンビーム化学気相成長法によるテラヘルツ波検出アンテナの作製
◎田村 拓・胡桃 聡・鈴木 薫(日本大学)
集束イオンビーム装置(Focused Ion Beam:FIB)はナノスケールまでGa+イオンビームを絞り、ビームを照射させて試料を観察しながらエッチングやイオン注入、原料ガスを吸着させて堆積物を生成させるデポジションができる。よって微細で立体的なダイポールアンテナの製作が可能となる。生体の分子振動が約2μm〜14μm程度なのでテラヘルツ波の発生源とする自由電子レーザ(Free Electron Laser : FEL)や、CO2レーザを検出できるアンテナの形成を試みる。本研究ではFIB-CVDを用いたダイポールアンテナの形成について報告する。