Si中の過飽和Auの回復過程でAu集合体が発生することは既に報告した。SIMSによるSi中の不純物濃度分布測定では、正確な不純物濃度を測定するために、原子濃度が知られているSi原子と不純物原子を交互に測定するサイクルを繰り返し、不純物原子が測定される領域は、深さ方向の数十％程度となる。Si中のAu集合体のSIMS測定に当たって、このことを改善するために、Si原子測定後約10µmにわたって連続的にAu原子を測定するサイクルを繰り返すことによって、表面からの金濃度分布を測定した。この改良測定サイクルによって100000個程度以下の金原子を含む小さい集合体も精密に測定できるようになったので報告する。