2種類の異なる磁性コート探針によるMFMを用いて，配線を模擬したコプレーナウェイブガイド(Coplanar Waveguide:CPW)上の近傍磁界の評価を行ったので報告する．磁界源としてCPWを用い，CPW上で交流磁界を発生させることにより，磁性コート探針とCPWの間に相互作用が働き，探針が共振周波数で振動する．このときの振動振幅を測定する．測定に用いた磁性コート探針は，硬質磁性材料であるCoCrPtがコートされたSiカンチレバー（市販，SI-MF3-LM）と，軟質磁性材料であるNi-FeをDCマグネトロンスパッタ法により製膜したものである．実験結果より，CoCrPtコート探針ではNi-Feの場合に比べて，CPW上で発生させた十分に強い近傍磁界の垂直成分を検出することが可能であることを見出した．