演者らが開発を進めている上水の水質検査用の微生物検査機のために必要な前処理濃縮装置製作を試みている研究である。気液界面に膜を設けず、微細溝の疎水ストップ機構で界面安定化を図った。その寸法と圧力耐性についての議論、デバイス製作法、およびその送液試験結果について報告する。 DRIEで製作した微細溝束とウェットエッチングによる微細溝とを並走するように陽極接合したデバイスを製作し、その動作を確認した。空気流路としての疎水微細溝には高い疎水性が求められることがわかった。