偏光分析による光学活性体の計測は，非侵襲かつリアルタイム計測可能である．これまでに偏光分析CMOSイメージセンサを開発し，マイクロフローセルに統合可能な計測システムを実現した．本研究では，高感度偏光検出を目指し， 65-nm標準CMOSプロセスを用いた多様な角度の偏光子を搭載した偏光分析イメージセンサの設計と試作を行った．試作したセンサの消光比はグレーティングピッチが狭いほど高い消光比が得られ，メタルグリッド偏光子の特徴と一致する．本稿では設計，試作したイメージセンサの評価結果について報告する．