マイクロマシンの一つである共振器において, 様々な変位の測定方法が存在する. 測定の際, アクチュエータがセンサを兼ねることが可能であれば, センサの設置スペースが不要であり, システム全体の小型化がはかれる. また, センサコストの削減が可能である. さらに, センサを設置することにより, 共振器の振動に影響が出る可能性があるが, セルフセンシングであればこの問題は解消される. このような観点から, 本報告では, 差動測定法を用いることにより, 櫛歯電極型共振器の振動に影響を与えずに, 変位を測定できることを確認した. また, 増幅回路は必要であるが, センサを設置することなく, 変位の測定が可能であることを示した.