本研究では、シリコンLSI・MEMSプロセスを用いて、液中への微小気泡の生成を行うマイクロリアクタの設計・製作を行った。提案するマイクロリアクタチップは、微小気泡を生成するノズル部と、反応に必要な時間、気泡を滞留させる反応部で形成される。このノズル部は、液体のせん断力を利用して微小な気泡を生成する構造となっている。製作したチップを用いて測定を行った。気体は圧縮空気を60 kPaで、液体は純水を100 μl/minで導入した。その結果、直径50 μmの気泡が生成されていることを確認することができた。