柔軟性の高いセル生産方式の実現に向けて，コンパクトなロボットにも搭載可能な小型3次元センサを開発した．従来ヘッドサイズの大型化の要因であったスキャンミラーにMEMSミラーを採用し，さらにフィードバック制御系でミラーの安定性を確保することで精度を維持したまま3次元センサの小型化が可能となり，産業用ロボットへの適用に有効であることを確認した．