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角度センシング機能を有する回転型静電MEMSミラーの設計と製作
◎篠崎亮輔・大平文和・寺尾京平・鈴木孝明・下川房男・高尾英邦(香川大学)
近年,MEMS技術を用いた微小光学部品が開発され,光学装置の小型化に寄与している.代表的な微小光学部品としてMOB (Micro Optical Bench),MEMSミラーがある.MOBはSi基板上に設けられた溝にファイバー,ミラー等を設置することで光学調整の簡略化を実現するが,ミラーを可動させる光軸調整は困難である.MEMSミラーを用いて偏向駆動を可能とすれば,電気的な光軸調整も可能となるが,従来のMEMSミラーは基板面上(すなわち水平型)のミラーを駆動させている.本研究では,MOBへの集積化を可能とする垂直型(面外方向)のミラーを駆動させる方式をとることで,同一基板上にデバイスとファイバー設置部,回転方向,角度検出センサの一括形成可能な回転型静電MEMSミラーの設計と製作を行ったので報告する.