近年，MEMS技術を用いた微小光学部品が開発され，光学装置の小型化に寄与している．代表的な微小光学部品としてMOB (Micro Optical Bench)，MEMSミラーがある．MOBはSi基板上に設けられた溝にファイバー，ミラー等を設置することで光学調整の簡略化を実現するが，ミラーを可動させる光軸調整は困難である．MEMSミラーを用いて偏向駆動を可能とすれば，電気的な光軸調整も可能となるが，従来のMEMSミラーは基板面上（すなわち水平型）のミラーを駆動させている．本研究では，MOBへの集積化を可能とする垂直型（面外方向）のミラーを駆動させる方式をとることで，同一基板上にデバイスとファイバー設置部，回転方向，角度検出センサの一括形成可能な回転型静電MEMSミラーの設計と製作を行ったので報告する．