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非対称マイクロミラーを用いた2次元光スキャナ
◎野口雅史・栗山敏秀(近畿大学)・高辻 渉・前田裕司・伊藤隆喜(和歌山県工業技術センター)・中家利幸・松井信近・奥村浩行(阪和電子工業)
2次元光スキャナは様々な応用がある。本実験では、非対称マイクロミラーを用いて、1方向の振動で2次元スキャナを駆動することができるのを確かめた。ミラーはx軸回りに、そのミラーを支える枠部分がz軸回りに回転運動を行う。ミラーと枠部分の2つの共振周波数を駆動信号に重畳させ、y軸方向に振動させると、2次元スキャンを実現することができる。これを確かめるために試作機を作製した。駆動させた試作機にレーザ光を当てると、反射された光で、ラスタースキャンによる画像表示が確かめられた。次に、シミュレーションソフトを使用して、解析を行った。この結果をもとに、超小型のスキャナを作製する予定である。