電気学会全国大会講演要旨
3-139
電子ビーム蒸着法によるセラミックス薄膜の作製と感湿特性
◎佐々木拓実・大津 稔・島田和宏・加藤ひとし・平松友康（関東学院大学）
電子ビーム蒸着法によってセラミックスである酸化ジルコニウムを薄膜化し、作製した薄膜に電極処理を施し湿度変化に対するインピーダンス変化を測定した。そして急激な湿度変化に対応するべく、感湿応答性も同じく測定した。