半導体薄膜ガスセンサは多種のガスに高感度で検知可能な一方，ガス選択性に乏しい故に触媒を用いたセンサの提案がされてきた。しかし触媒に用いられるレアメタルは供給が不安定になりがちなことや価格の高騰が度々問題となる。そのため本研究ではレアメタルを使用せずに、金属酸化物を用いた半導体薄膜ガスセンサの水素ガス感度向上を可能とするセンサ作製方法の提案を目的として、nmオーダの空隙を持たせたセンサの研究を行ったので報告する。