転がり摩擦を有する位置決め機構の高速・高精度化実現を目指す際に，数十μm オーダの微小ストロークによるインチング・往復位置決め動作時の応答ばらつきが制御性能劣化を招く。しかし，これまでにその発生メカニズムを明確にされた例が少なく，現象の要因解析及び精密シミュレータの構築は，高精度位置決めを目指した補償器設計の観点からも極めて重要な研究項目に間違いない。本論文では，転がり摩擦特性基づく応答ばらつきの要因考察及び数値シミュレーションを実施し，その発生メカニズムを明らかにする。