近年，デバイスの小型化や軽量化に伴い微細領域におけるマニピュレーションの重要性が高まっている。 また，操作性や安全性の観点から，微細領域のマニピュレーションにおいて人間の触覚情報を付加する研究が行われている。 そこで，本研究では微細領域におけるマニピュレーションの性能向上のために，高精度な位置制御を可能とする新たなシステムの構築を行う。 システム構成としては，高分解能を有する位置エンコーダ，高速演算処理が可能な演算処理ユニット，エアスライダ機構を有するアクチュエータシステムによって構成される。 本システムにより，ナノスケールでのロバストな位置制御が可能となる。 本システムの有効性を実験により確かめる。