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電磁力平衡式計量器の薄形化に関する基礎検討
◎住友久人・髙橋康人・藤原耕二・石原好之(同志社大学)・内藤和文・照沼孝造・藤原一志・池島 俊・石田進一郎(新光電子)
現在,医療,化学,工業などの製造分野および研究等において,非常に軽微な質量を高精度に計量することは重要であり,この目的のために電磁力平衡方式を用いた計量器が使用されている.多数の試料をより効率的に計量する場合,計量器を複数台並設して用いる必要があるが,その際に計量器の薄形化および計量器からの漏れ磁束が周辺機器に与える影響を考慮する必要がある.本稿では,計量器を複数台並設して使用することを想定した,電磁力平衡式計量器の新たな薄形モデルを提案する.有限要素法による二次元磁界解析を行い,各寸法の変化が磁束密度分布やコイルに得られる電磁力などの諸特性に与える影響について検討を行った.