可動子の運動を実現するため、あらかじめ複数の分割図を準備し、可動子の位置に応じた適切な分割図を選択し、節点の移動にはラプラス方程式を用いた分割図の修正法（複数分割図修正法）が報告されている。しかし、この手法は扁平な要素が多数存在すると、要素が潰れてしまうことがあり、それに対する修正も報告されている。我々は、複数分割図修正法の中のラプラス方程式を用いた分割図修正の代わりに、可動範囲は狭いが要素の潰れる可能性が低い二分割図法(3)を用いることで、扁平な要素が多数存在する分割図においても、高精度な計算結果が得られる三次元有限要素分割図修正法を開発した。本手法を用いてラッチング形リレーの動作特性解析を行い、有用性を明らかにしたので報告する。