ベアリングレスモータは、磁気軸受と電動機を磁気的に一体化し、磁気浮上しながらトルクを発生させることができる。そのため、機械的接触による粉塵が発生しない、メンテナンスフリーという利点がある。特に2軸制御ベアリングレスモータは小型・低コストであるため、半導体製造用プロセスチャンバステージへの応用が期待されている。一方、2軸制御の問題点として、回転子重心に対する磁気支持力作用点とセンシング位置の関係が安定性に影響を与えることを明らかになっている。既に著者はPIDコントローラの積分ゲインを適切に設定することで安定浮上可能であることを実験によって示した。そこで本稿では、積分ゲインの範囲を明らかにする。