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小形遠心ポンプ用ベアリングモータの磁気支持性能
◎田村智康・兼原大輔・朝間淳一・大岩孝彰(静岡大学)・千葉 明(東京工業大学)
血液ポンプや清浄度が要求される半導体プロセスでの流体搬送装置において,インペラを接触式軸受で支持する遠心ポンプを使用した場合,軸受部の摩擦・摩耗により耐久性,発塵による流体汚染の問題がある。そこで小形・高耐久・コンタミフリーの遠心ポンプを実現するため,固定子に磁気支持・トルク用の2種類の巻線を施すことでインペラの非接触磁気支持とトルク発生が同時に可能なベアリングレスモータの遠心ポンプへの適用を提案している。本報では,ベアリングレスモータの回転子を空気中・水中で駆動した場合の磁気支持特性の評価を報告する。