500ns方形波電圧パルスによって大気圧非平衡プラズマを生成し、放電プラズマ生成に関する繰り返し周波数の影響について検討した。その結果、放電遅れ時間はパルス繰り返し周波数の増加とともに急減し、1パルス当たり投入電力は増加することがわかった。1パルス当たり発光強度は繰り返し周波数に強く依存せずおおよそ一定であった。これらの結果から（1）繰り返し周波数と放電中の活性種の生成速度がほぼ比例関係にあること、（2）繰り返し周波数の増加とともに活性種生成のエネルギー効率の低下やガス温度の上昇が生ずることを示唆された。