ナノ秒オーダの電圧印加により生成されるナノ秒パルス放電は，①2次ストリーマ生成以前に電圧を切ることで1次ストリーマのみで効率良くラジカル生成すること，②破壊電圧を大きく超える電圧で放電開始するために高い電界下でラジカル生成が行われること，が利点として挙げられる。我々は，ストリーマ半径を仮定した一次元流体モデルを用いてナノ秒パルス放電におけるストリーマ進展速度について評価し，ストリーマ進展速度がストリーマヘッドの電界，即ち，電荷密度に依存して決定されることなどを示した。本報告では，同モデルを用い，ラジカル生成効率，具体的には空気中での電子衝突によるOラジカル生成効率について評価を行った。