オゾンは強力な酸化作用を有し，殺菌，脱臭，有害有機物の分解，無害化など，様々な産業分野において利用されている。そのオゾンを生成する方法として最も生成能力に優れているのが放電法である。本研究室では，Micro Hollow Cathode Discharge (以下MHCD)と第三の電極との間にグロー放電プラズマを発生させるMicro-hollow Cathode Sustained Discharge (以下MCS放電)によるオゾン生成を提案している。MCS放電は比較的低い電圧で高エネルギー電子，高電流密度が得られる。一方で，MCS放電の発生には不可欠であるMHCDの放電電力の増加に伴い，MCS放電のオゾンの生成能力が低下するという課題がある。そのため，本研究ではMCS放電のオゾン生成能力向上を目的とし，MHCDがオゾン生成に与える影響を検討した。