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パルス・バリア放電オゾン発生装置の圧力依存性
○村田隆昭・沖田裕二・牧瀬竜太郎(東芝)
パルス・バリア放電は従来のACバリア放電を用いたオゾン発生装置より高い効率が得られ、その値は理論限界の400g/kWhに近い値であった。パルス・バリア放電のガス圧依存性を取得したところ、高気圧下で高いオゾン生成効率が得られることがわかった。オゾン生成効率は換算電界により強く影響される。最適ガス圧時の換算電界を調べた結果、オゾン生成の最適値に近い110Tdが得られた。発表ではオゾン生成の理論限界と実験によって求めた換算電界との関係について議論する。