近年の微細加工技術の発達に伴い、気体中や絶縁物表面の微小ギャップにおける絶縁破壊現象が大きな問題とされるようになった。特にマイクロアクチュエータに代表されるようなトルク出力が要求されるMEMSデバイスでは、出力が電界強度によって決定されるため、μm〜nmオーダのギャップ間の絶縁の把握が重要な鍵となる。しかしながら、マイクロギャップ間における放電現象は、通常の気体中における放電と異なる様相を呈する複雑な物理現象であることが知られており、未解明な点が多く残されている。本研究においてはMEMSデバイスを模擬したSOウェハ上のマイクロ沿面ギャップにおける絶縁破壊特性の測定を行い、マイクロ沿面ギャップにおける放電機構の検討を行った。