真空中で高電圧を印加するとアルミナセラミックス表面で局所的な発光を伴う真空中での部分放電の発生が明らかになった。しかし、この発光を伴う真空中での部分放電についての調査例は少ない。真空中の絶縁物を介する放電現象は、電極表面状態および絶縁物表面状態に強く依存する。そこで今回、大気中熱処理(最高温度800℃、1250℃)を行ったアルミナセラミックスの発光開始電圧およびアルミナセラミックス表面のカソードルミネッセンスの分光測定を行い、熱処理なしの結果と比較した。その結果、大気中熱処理によって、アルミナセラミックス表面の酸素欠陥量が低減し、アルミナセラミックス表面の発光開始電圧が向上することを明らかにした。