数ng以下の微小質量を検出できるQCM(Quartz Crystal Microbalance: 水晶振動子微小天秤)の性能の向上を目的として、1枚の水晶板上に2振動子を用意し一方を質量検出用、他方を周波数基準としてその差分を使用する位相同期型QCMが報告されている。本稿では位相同期型QCMに使用する水晶振動子を作製し、温度特性の評価を行った。