ハイパワーパルスペニングスパッタ放電装置はプラズマを高密度化し、イオン化を促進する。本研究では、動作ガスとしてアルゴンおよび窒素の混合ガスを用いてプラズマを生成し、窒素の混合比率がプラズマ電力に与える影響について調査した。ガス流量は32 sccmで圧力は0.5 Paとした。ターゲットにはチタンを用い、電圧-800 V、繰り返し周波数500 Hz、パルス幅50 µsのパルスを印加した。この結果、プラズマ電力は窒素の比率が0~60%のときは減少し、60%以上のときに一定となった。このとき、ターゲット表面での電力密度は約300 W/cm²となった。